该晶圆产量产量厂家建在华中的地区,主耍产量85英寸光电器件晶圆,每日工业废水排污量约800吨。会因为产量的过程中运用广泛盐酸完成晶圆蚀刻,诱发工业废自来水中氟化物氧化还原电位多达200-300mg/L,远超国家的排污细则(10mg/L下面)。
废水处理工艺组成成分及种类
焦化废水首要源于三种原则:
晶圆蚀刻步骤
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、硝酸钠及少量出高价属
电学机诫镜面抛光(CMP)焦化废水
:含纳米级级硅颗粒肥料、生产络合剂
机械的清洗废水处理方法
:含异丙醇、氯离子等有机会物
工作施工工艺方法
按照"药剂学积累+沥青混凝土积累+厚度滤出"四级处里整体:
一层治理
:加药系统氯化钙和氢硫化钙,组成氟化钙奠定,氟化物洗去率达85%
一级办理
:增多PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),去掉胶体溶液态废弃物物
三级视频除理
:进行多媒介进行过滤板和渗透性炭吸,出水出水氟化物溶液浓度稳定性高在8mg/L下面的
关键因素设施设备具有:pH定时自动调节设计、斜管滤渣池、板框板框压滤机(废水缺水)。
结果是实际效果
楼盘进行一年参数监测参数展现:
氟化物均值氧化还原电位:7.2mg/L(远低于的国家原则)
COD祛除率:92%
污泥干化含水量率:≤65%
年回收公司氟化钙副食品约150吨,做到材料化充分利用